二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #293823961 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V光刻設備是備受推崇的光刻工作馬，可用於制造多種電子設備。它被設計用來在塗有鉻和金層的基板上精確地曝光和顯影一層感光材料（光致抗蝕劑）的薄膜。該系統由電子束柱、熱處理抵抗單元、對準器和掩模對準器組成。TEL Lithius Pro V的電子束柱提供高達1600電子伏特的能量範圍。該機器分辨率高達3倍,能夠實現0.5 μ m的小尺寸功能。該柱的先進設計實現了高通量，並確保了可靠的光刻效果。加熱的抗蝕劑工具，也稱為熱處理，確保暴露的光致抗蝕劑保持在最大分辨率的位置。抗蝕劑在暴露於電子束前加熱至200 °C，以增加對底物的粘附性。暴露後，抗蝕劑進一步加熱，以確保整個基板均勻發展。在暴露和解決復雜的顯微鏡任務時，對齊器保證了極好的精度。開場傳輸對齊器能夠解析低至1 μ m的特性。這使得它非常適合隧道晶體管等應用。掩模對齊器用於再現微磁盤或復雜的薄膜互連。TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV完全自動化，兼容多種安全的工業控制器和操作系統。此外,該資產還具有廣泛的用戶友好界面和鍵盤訪問權限。LITHIUS PROV具有高質量、精確度、一致性和可靠性,是全球光刻系統的首選產品之一。
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