二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro V #9292955 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro V是一款光刻設備，旨在為廣泛的應用提供先進的光刻能力，包括微電子、半導體和晶圓制造。該系統使用高度精確的光機械單元，配有光源、透鏡和自動移動級，以優化體積圖案晶片和納米加工。與傳統的步進掃描儀系統不同，TEL Lithius Pro V使用計算機控制的算法來確定晶片、透鏡和光源在制圖過程中的精確定位。這樣可以在線寬和高度上獲得極高的精確度,並且在產生有陣列的角度和粗線方面非常有效。TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV機集成了廣泛的軟硬件功能，包括全面的叠加對準概念、先進的光刻模擬和控制以及高性能的圖像處理引擎。該工具還包括一系列核心配件，如光源、真空室和人性化操作控制臺。為確保TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS PROV資產的最佳性能,各種參數（如曝光能量、叠加對準精度和曝光序列）都是可調的,並通過一個復雜的過程加以控制,該過程包括集成用戶友好的GUI、自動制圖和高級光刻模擬。使用TEL LITHIUS PROV模型,客戶可以獲得提高光刻產量、縮短周期時間和提高產品質量的好處。該設備還能夠自動校準對準，加速烘烤固化，加上高精度器件的精確圖樣，如高性能邏輯和內存器件。此外,Lithius Pro V系統的客戶還可以利用較長的日光開發時間,因為一次曝光可提供特定於特定於特定位置的小型陣列。隨著精度的提高，LITHIUS PROV單元也提供了高度的設計靈活性；允許客戶在最復雜的設計上制作一系列光刻設計。總體而言,TOKYO ELECTRON Lithius Pro V是一款先進的光刻機,旨在為客戶提供他們所需的精確度和無錯誤圖樣,以便在一小部分時間和成本內創造出高度復雜、高質量的產品。