二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293603809 待售

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ID: 293603809
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Coater / Developer system, 12" Process: ArF Dry Factory interface: (5) FOUPs CIM: ECS / GEMSECS / GEM Options: LynxOS / TEL Chiller T/H Controller Coater and developer cabinet Resist cabinet A/C Power box Handler: CRA IRAM (3) PRA 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款高性能的光刻設備,專為先進的光刻操作而設計。它利用先進的成像技術和先進的控制算法,使其能夠生產出極其精確的光刻膠。利用最先進的光學和漸進自動化,該系統可以提供最先進的光刻結果。TEL Lithius Pro的集成光學單元使石版畫家能夠準確實現廣泛的分辨率。其先進的成像算法、光學機器和自動曝光參數使其能夠生產具有極精細特征和最小失真的光致抗蝕劑。此外,集成反饋工具可幫助平版畫家監控和維護資產的穩定性。該模型還利用極快的控制器,從而實現高吞吐量和低延遲。TOKYO ELECTRON Lithius Pro提供對曝光參數的自動控制,包括曝光時間、像素大小和光學密度。它還為控制光刻膠提供了多種選擇,例如形狀和邊緣定義。此設備可以配置為逐個像素地控制參數,從而實現非常精細的控制。Lithius Pro還專為便於維護和維修而設計,具有許多易於更換的組件。它提供了隨時間推移監控系統性能的工具,包括嵌入式質量控制單元,可幫助快速識別和解決潛在問題。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款高品質、先進的光刻機。通過將復雜的控制系統和強大的成像技術相結合,此工具非常適合希望將其光掩模推向下一代精度和分辨率的光刻師。
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