二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293821725 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一種光刻設備,可為需要超精確成像結果的工藝工程師提供可靠、經濟高效的解決方案。該系統結合了先進的自動化技術,可在敏感的半導體應用中提供可重復的性能。TEL Lithius Pro采用符合現場要求的Bruker FXF 280 Autoimage掃描儀構建,可提供高圖像分辨率和靈敏度。其先進的自動化功能使得操作和跟蹤設備晶圓曝光歷史變得更加容易。這臺機器裝有一個自動晶片處理程序，用於在加工室之間快速傳輸微晶片，以及一個晶片映射工具，以確保精確對準。嵌入資產中的功能強大的AIT（原子級圖像跟蹤器）軟件使工程師能夠精確監控每個運行。這一功能強大的工具可用於即時跟蹤工藝特性，防止意外的晶圓曝光。自動化的雙聚焦機制可確保所有基板的成像質量和可重復性一致。TOKYO ELECTRON Lithius Pro還提供實時溫度監控,以方便溫度臨界過程。集成的高級光束控制調諧功能有助於保持高吞吐量並確保成像精度。自動曝光模式預設庫還增加了靈活性,並確保工程師能夠快速設置各種光刻應用程序。這種強大的模型非常適合用於各種行業，包括半導體和微電子應用。用戶友好的界面使其易於使用,而高級自動化確保了精度和可重復性。對於需要可靠光刻解決方案的工程師來說,Lithius Pro是一個絕佳的選擇。