二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827336 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款最先進的光刻設備，設計用於制造半導體器件的精密光刻蒙版。TEL Lithius Pro配備了專有的研究級氯化聚乙烯醇（PVA）光致抗蝕劑，並具有幾個非常適合大學研究的先進功能。TOKYO ELECTRON Lithius Pro光刻膠系統利用了PVA光刻膠的液體形式，允許更大的設計靈活性和根據特定設計量身定制光刻膠面罩的能力。這種光致抗蝕劑裝置保證每次使用都能提供一致和可靠的結果。光致抗蝕劑應用在具有編程晶片級的器件晶片上，使研究者能夠精確控制曝光時間和劑量。此外,還可以調整Lithius Pro以快速掃描光刻蒙版或重復特定設計。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro的另一個顯著特點是它的烘焙加工機（Bake-Processing Machine，BPS），專為圖樣定義的中高密度光刻而設計。這使得研究人員能夠高效地制作出高分辨率的圖樣和膠片。BPS也有特色；具有高頻控制功能的聚變熱電器；自動時間和溫度控制的烤盤；以及軟件控制的底物。這些功能有助於快速高效地創建精細的詳細光刻蒙版。最後,TEL Lithius Pro光致抗蝕劑工具具有完全監控的操作環境,為研究人員提供安全可靠的工作環境。所有光致抗蝕劑系統都配備了保護性紫外線過濾屏蔽和惰性氮氣排氣資產，以保護用戶。該模型還包含環境傳感器，用於監測流體水平和溫度，以確保操作一致。綜上所述，TOKYO ELECTRON Lithius Pro光刻膠設備是一種先進的研究級光刻膠系統，具有許多特點，使其成為大學光刻研究的理想選擇。其PVA光敏液體提供了更大的設計靈活性；烘烤加工部保證高分辨率的圖樣和薄膜；其環保特點保證了安全可靠的運行。
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