二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #293827599 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款用於半導體微加工工藝的光刻設備。光致抗蝕劑是一種塗層材料,用於在集成電路中對設備進行陣列設計。它由對光敏感的聚合物薄膜組成，可應用於矽片或平板顯示器等基板上。當暴露在光照下，光刻膠的區域被硬化，未暴露的區域可能被化學蝕刻劑去除。這一工藝被用於對基板進行圖樣設計，使晶體管、電容器和其他組件能夠以最小的尺寸和精確度制造。TEL Lithius Pro是針對多種薄膜、基材和光合聚合物材料優化的高性能光刻膠系統。它包括一個先進的光學引擎，具有各種可選的光學附件，以最大限度地提高工藝和掩蔽能力。該單元提供了一個軟件控制的激光曝光的選擇，或常規薄膜曝光作為一個強大的替代。機器使用的激光源允許高分辨率的微電子成像廣泛的應用，包括亞微米光刻工藝。TOKYO ELECTRON Lithius Pro配備了一系列可選元件，旨在處理各種光敏材料的工藝需求。其中包括帶有擴散室的液體顯影罐、噴霧攪拌工具、工作地點差價調整單元和幹膜夾套單元。該資產提供了模型功能的最新改進,例如高精度和可重現結果的可重復性。Lithius Pro還提供安全的數據存儲和數字簽名驗證功能,以及針對各種光刻過程的特定於應用程序的功能集。總之,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款易於使用的高性能光刻設備,旨在為廣泛的行業提供高效、精確的微制造結果。它是一種有效的基板陣列解決方案,同時還具有靈敏數據的強大安全性。
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