二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9263047 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是一款在半導體器件、平板顯示器和微機電系統（MEMS）處理中用於光掩模結構圖樣的光刻設備。該單元由三個集成組件組成-光源、機械運動機和投影光學元件。使用高功率光源,TEL Lithius Pro能夠產生超短脈沖光和廣譜可見光,從而實現目標覆蓋和曝光。光照均勻性高，強度高，效果一致。此外，光源具有動態功率調制能力，使用戶能夠非常精確地控制曝光劑量。定位精度高達0.3nm的機械運動工具，在高真空條件下曝光時可精確移動晶片。獲得專利的透明邊緣設計旨在最大程度地減少遮罩邊緣的光泄漏,並且即使在使用窄間距模式時也有助於達到質量效果。最後，提供了控制良好的光學照明，投影光學可以精確控制圖形放大和景深。該資產采用了復雜的光學校正算法,以消除像差,確保最高的性能和可靠性。TOKYO ELECTRON Lithius Pro光刻膠型號為單層和多層抗蝕劑提供可靠、高性能的陣列。它的高精度定位精度和功率調制使用戶能夠實現可重現和可重復的模式。此外,清晰邊緣設計最大程度地減少了蒙版邊緣的光泄漏,使其成為需要非常高精度和準確性的應用程序的理想工具。