二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9283145 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro是用於制造半導體集成電路和微電子器件的先進光刻設備。它是生產半導體晶圓的關鍵工具，用於制造各種材料的薄沈積物或密度，然後從晶圓上蝕刻除去，形成集成電路。該系統的獨特之處在於其先進的溶膠-凝膠技術，使用戶能夠創造更精細的特征，提高沈積和蝕刻的精度和分辨率。這使得它非常適合在集成電路上生產更小、更復雜的結構和設計。該單元還具有閉環抵抗控制功能，可以讓用戶精確控制機器內的暴露時間和蒸氣壓力等參數。TEL Lithius Pro也可用於多種工藝，如塗層、圖案、光刻和固化。其塗層能力包括自旋塗層、氣動噴霧、槽模系統。該工具還采用先進的OMERLOT（輸出模式電阻層）工藝，提高了抗蝕層的形成精度。除了塗層和光刻功能外,TOKYO ELECTRON Lithius Pro還包括一些功能,使用戶能夠操作基材的表面。這包括氧化物去除，CMP（化學機械拋光），和蝕刻回。所有這些過程都可以用來修改半導體晶片的表面地形，允許形成更復雜的結構。最後，利用高頻微波降低固化時間，降低生產過程成本的先進固化模型。這種固化設備還能夠快速回火循環，有助於確保所有層都能正確粘附並保持外觀均勻。總體而言,Lithius Pro是一款功能強大的光阻系統,具有多種功能,使其成為半導體生產中的關鍵工具。它提供了先進的塗層和光刻功能,以及表面地形控制、固化和其他功能,使用戶能夠創建越來越復雜的設計和電路結構。