二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293587437 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款為晶圓處理應用而設計的光刻設備。其設計目的是提供高分辨率、低排便和最小環境影響的模式能力。該系統的工作原理是在晶片上塗上一種光敏化學塗層，稱為光刻膠。光致抗蝕劑再暴露於紫外線光源下，通常位於光刻室內，照射晶圓的特定區域。暴露於光的區域變得不溶於顯影劑溶液，而那些未暴露於光的區域則保持可溶性。然後使用顯影劑溶液有選擇地去除暴露在光下的塗層，從而在晶片上形成一個精細的圖案。TEL Lithius單元包括多種工藝模塊，以確保光刻膠塗層、曝光和顯影劑解決方案應用都發生在正確的時間和設置。該機還包括多個成像元件，包括光學補償CCD相機、偏振濾波器、自動區域映射和數字圖像處理軟件。所有這些組件協同工作，以確保光刻膠應用和曝光的工藝參數準確。TOKYO ELECTRON Lithius光致抗蝕劑工具的設計既可靠又經濟高效。該資產采用不銹鋼構件建造，具有耐腐蝕和抗沖擊性，以及高度的湍流控制，以減少可能引入光刻室的顆粒數量。此外，光刻膠模型具有高度自動化的特點，可靈活集成到半導體工藝系統中。簡而言之，鋰光致抗蝕劑設備具有高分辨率和可重復模式的能力，排便率低，對環境的影響最小。該系統結構可靠，自動化程度高，可實現可靠、經濟高效的晶圓加工。