二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589532 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光致抗蝕劑設備，用於在矽片等基材上構建納米級結構。光致抗蝕劑是具有獨特特性的材料，當暴露於某些波長的光時會發生變化。通過控制光照的波長和強度，可以準確地定義特征。TEL Lithius能夠使用多種曝光技術，包括接觸、接近和離軸。接觸曝光是用於基本形狀或開口，而接近和離軸更適合於圖案復雜的形狀。TOKYO ELECTRON Lithius使用聚焦光束提供亞微米精度的高分辨率圖樣。這套系統使用了一個高功率光源的精密光學單元。該機集成了先進的激光掃描儀、旋轉多邊形鏡和寬變焦範圍。這確保了光刻膠的精確曝光，以允許產生高長寬比結構。Lithius還集成了高級工藝控制,例如Off-Axis Shift補償,它自動調整曝光參數以減少因離軸曝光而引起的常見分辨率問題。此工具還允許陣列的自動對齊和自動曝光控制,以便在晶圓上精確一致地復制陣列。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius也與廣泛的光致抗蝕劑兼容，可用於包括半導體、矽、MEMS和NEMS器件、微流體系統等多種應用。這一資產緊湊、靈活，為納米級結構提供精確處理。先進的光學模型、先進的工藝控制以及與一系列光刻膠的兼容性使TEL Lithius成為創建納米級結構的理想解決方案。