二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589534 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻用光刻設備，用於制造集成電路和電子工業中使用的其他系統的工藝。TEL Lithius系統使用光通過標線將電路圖樣投射到光敏層上。光敏材料是一種光敏材料，用於制造電子電路。它是一種聚合物材料，暴露在光線下會發生化學改變，這使得它可以呈現投影圖案的形狀。這個過程開始於在電路將建立的表面上沈積一個聚合物層。光致抗蝕劑層是由一個已被應用到基板的感光膜組成的。光刻過程的下一步涉及在包含需要創建的電路的基板上創建掩碼（稱為標線）。蒙版是由光刻單元使用的設計創建的。為了將電路投射到光刻膠層上，掩模與光刻膠層對齊，並使用一系列光源來曝光光刻膠材料。TOKYO ELECTRON Lithius machine使用了光刻膠照明的優化設計。它確保了光在整個表面積上的有效透射，並提供均勻的光敏曝光。此過程可精確復制光刻膠上的蒙版圖案。曝光過程完成後，開發出光致抗蝕劑，形成不透明層。然後，這種光致抗蝕劑掩模保持原樣，用於將電路蝕刻到基板上。為了完成電路圖樣，使用幹蝕刻或濕蝕刻將圖樣蝕刻到基板上。蝕刻過程可以使用去除暴露區域的化學溶液,也可以使用機械工具（如夾具或鉆孔）切割材料。蝕刻後，光刻膠掩模被移除，導致基板上完整的電路圖案。鋰工具提供可靠、準確和可重復的結果,因為它可確保光刻膠的均勻曝光,從而能夠創建準確、精確的圖樣。這是一個高效和自動化的過程，正在電子工業中用於制造電子系統。