二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595663 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻膠設備，設計用於在各種基板上對光刻膠薄膜進行精確的制圖，並實現光刻、蝕刻和直接寫入應用。該系統利用投影和擴散曝光源以及稱為自旋塗層單元的液膜形成單元來控制光敏材料的溶解和沈積。曝光源產生所需紫外線光譜的聚焦光束，這些光束被引導到石英擋風玻璃上。通過這種透鏡後，紫外線在到達光敏膠片表面之前被兩個擴散器過濾。光致抗蝕劑機的設計使光致抗蝕劑薄膜在一系列的基板上能夠精確的圖案。這包括矽、玻璃、陶瓷、塑料、銅和鋁。該工具還具有處理許多半導體設備的功能,包括DRAM和DRAM緩存存儲器、CMOS圖像傳感器和MEMS。資產產生的投影和擴散曝光的分辨率可低至1 μ m以上。這種低分辨率允許較小的高精度納米圖案，這在設備制造過程中很重要。模型以自旋塗層單元完成。該單元負責光刻膠膜的沈積和溶解，並允許在底物上均勻的膜沈積。旋轉塗層單元通過空氣或真空輔助旋轉技術應用光致抗蝕劑。TEL Lithius光致抗蝕劑設備非常先進，已被證明能夠高效、準確地加工一系列基板。該系統允許設備制造公司開發高分辨率、提高效率的高質量光刻、蝕刻和直接寫入設備。