二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595668 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種先進的光刻膠系統,旨在幫助制造商以最少的浪費和更低的成本將細節蝕刻到表面。利用紫外線（UV）和可見光（VIS）對GaAs、SiO2、SiN等多種基板上的復雜圖樣進行成像。該系統由幾個組件組成，包括光源、光學、轉向鏡和光刻單元。光源是一種高輸出UV/Visible （U/V）激光器,具有優異的波長分辨率,極大地提高了光源的精度和保真度,而其光學器件設計成可投射出均勻的圖像。轉向鏡是一種高度靈敏的自動化裝置，它連接到鏡頭上，以確保精確的圖樣投影到基板上。光源和光學器件配置正確後,將光刻膠塗在要成像的基板上。光致抗蝕劑是一種特殊類型的化學物質，對紫外線和可見光敏感，暴露時會發生化學反應。將抗蝕劑暴露於激光後，可以開發出所需的圖樣，然後將抗蝕劑清洗掉，留下所需的蝕刻圖樣。在光刻操作中使用TEL Lithius提供了與傳統光刻相比的顯著優勢。它比傳統的光刻技術更快、更準確,並且可以投射出更高分辨率的圖樣。此外，它更便宜，使用的光致抗蝕劑和其他消耗品要少得多，而且由於光致抗蝕劑會蒸發而不是被刮掉，所以更清潔。TOKYO ELECTRON Lithius是一種高性能的光刻膠系統，與傳統的光刻技術相比，可供廠商在基板上蝕刻錯綜復雜的圖樣。它用途廣泛、可靠，並且能夠產生高分辨率的圖樣，而且極少浪費光刻膠和其他消耗品。因此，它是大批量生產各種工業中使用的模式錯綜復雜的基材的理想選擇。