二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻設備，設計用於生產具有可靠電性能的半導體器件。該系統由四個模塊化組件組成：基板支架、掃描儀、光源和控制單元。基板支架裝有一個半導體晶圓。它設計用於在受控環境中定位和旋轉晶片，以確保晶片表面上光敏光敏材料的均勻塗層。掃描儀負責曝光光刻膠材料。它由一個具有x-y龍門的電動級組成，該龍門以線性方式移動晶圓，並精確控制照明光束的劑量、偏振、大小和形狀。光源負責產生照明光束並控制其強度和形狀。一種常用的光源是激光驅動的電子束。控制單元是單元的心臟。它負責控制和管理整個光刻膠過程。它向其他組件提供信息,指導整個工作流程,並收集有關光刻材料的數據。通過利用上述機器部件，TEL Lithius能夠生產出具有高度均勻性和可靠性的半導體器件。這個工具能夠產生高度復雜的圖樣，密集的結構，甚至亞微米結構。此外,該過程可以完全自動化,提供出色的重復性和統一的模式.總體而言，TOKYO ELECTRON Lithius是一種可靠、高效的光刻膠資產，用於生產具有優越電性能的半導體器件。