二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293609337 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款設計用於亞微米半導體器件加工的光刻塗層設備。由日本工業供應商TEL制造的TEL Lithius是一種先進的光刻膠系統，旨在將亞微米級電路復制、切片和分離到半導體晶圓上。這種光敏裝置是半導體器件加工的前沿，為制造復雜的微型電路提供了細致的工藝。該機器的工作原理是首先用一層薄薄的光敏材料塗覆半導體晶片。然後，這種材料經過一個簡短的旋轉塗層過程來平整薄膜，然後再暴露在紫外線下--這種曝光會將規格「寫下」到曝光的薄膜上。被紫外線撞擊的光敏材料區域變硬，耐蝕刻。然後對光刻膠進行洗滌，除去任何未硬化的材料--這個洗滌過程也將規格「固定」到抗蝕層中。所用的光刻膠經過特殊配制，以符合亞微米半導體器件加工所需的嚴格圖樣公差。每種光致抗蝕劑制劑的成分都可以根據每種基材的需要進行調整，以確保在曝光和加工階段均具有盡可能高的分辨率和質量。塗層晶片暴露在紫外線下然後清洗後，光致抗蝕劑層就可以「顯影」了。此步驟包括使抗蝕層受到一種反應,從而去除任何未加固、未受保護的部分。剩下的「發達」抗蝕層是指定電路的表示，準備蝕刻到設備上。最後，在蝕刻過程完成，設備準備就緒後，光刻膠層剝離並移除。TOKYO ELECTRON Lithius tool uses special techniques to確保光刻膠永不被過度剝離，避免對裝置造成任何損壞。綜上所述，鋰光致抗蝕劑資產提供了一個精確而復雜的過程，用於在半導體晶片上創建亞微米尺度的電路。它利用了專門配制的光致抗蝕劑和自旋塗層工藝，使半導體器件能夠暴露在紫外線下並被「開發」，以便復制指定的電路。它是確保亞微米級半導體器件微型電路質量最高的前沿模型。