二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293610403 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻加工設備，在一系列先進的光刻應用中提供卓越的性能。它具有完全自動化和集成的系統，允許用戶輕松地配置單個工具，以不同的光敏材料處理各種晶圓結構。該設備使用下一代光學曝光機（NEXTGen,簡稱NEXTGen）將光刻膠暴露於受調節頻率的光照下,從而將圖樣精度提高到0.4 μ m的線條和空間。該工具旨在輕松集成光掩模、步進器和掃描儀,以實現陣列設計設備和電路設計的最佳靈活性。TEL Lithius的高級晶片處理功能進一步實現了從負載端口到過程的無縫高效基板傳輸。該資產的設計具有較高的收益率控制和成本效益。它使用先進的基板均勻性模型（SUS）進行缺陷敏感性,並利用最小化的部分場依賴均勻性方差最大程度地控制屈服。此外，設備使用了多種先進的PR薄膜，在允許高分辨率成像的同時需要很少的晶圓經波。TOKYO ELECTRON Lithius的創新功能也解決了晶圓級成本的最小化問題。其設計使單一光刻系統能夠處理各種工藝步驟和抵抗薄膜，從而無需額外的大型機和軟件投資。此外,它還通過有效控制光刻膠和蝕刻成分,將操作成本降至最低.在其悠久的歷史中，鋰光刻裝置一直為先進的光刻工藝提供可靠、經濟高效的解決方案。其創新特點和先進的車載系統有效地平衡了成本和性能，確保了優越的產量控制和改進的工藝流程。其高度自動化、集成的機器消除了對多種投資的需求,簡化了工作負載,為設備制造創造了性能優勢。