二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615016 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻設備，設計用於光刻工藝，用於制造半導體和集成電路等微電子元件。該系統非常適合大體積、大面積的接觸過程，能夠處理各種各樣的基材。該裝置利用200至400納米波長的各種準分子和LED紫外線光源，並允許0.5至10 mJ/cm2的曝光劑量。TEL Lithius機器具有自動曝光優化功能,為關鍵特性提供了卓越的過程重復性和準確性。該工具配備了高性能、高速度的激光掃描儀，能夠掃描40英寸大的區域。掃描儀的曝光精度為0.765微米，掃描速度可達每秒6英寸。資產還包括具有多種不同功能的高性能曝光控制器，如劑量控制、面罩對準、模式檢查等。控制模型允許同時暴露多個場位置,並支持一系列低至0.25微米的特征,從而確保了高生產率。此外，TOKYO ELECTRON Lithius設備符合SEMI標準E75，允許多種開發方法，包括濕式或幹式開發。鋰系統具有多種保護微電子元件質量的特點.裝置上的傳感器檢測塵埃和其他粒子的存在，如果存在，則提醒操作員。此外,該機器的設計旨在降低功耗,其自清潔紫外線源控制工具可防止紫外線源因灰塵汙染而產生故障模式。最後，資產還有一個額外的開放式開發方案，可以在光刻過程中增加靈活性。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius光刻膠模型是微電子元件生產的有效工具。它非常適合大批量制造,並且由於其自動化的暴露優化和灰塵汙染檢測系統而能夠產生一致、可靠的結果。此外,SEMI的SEMI標準合規性和對各種開發方法的開放性提高了設備的靈活性,使其能夠滿足生產過程中的個別需求。