二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615289 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻設備，使深紫外線（DUV）光刻使用光刻材料。它利用了一種特殊類型的光刻膠系統，簡稱有機光刻膠（OPR），在紫外線光刻應用中使用時極為有效。這一單元特別適合於生產小型和復雜的結構，這些結構存在於要求其最終產品精確度最高的行業中。光刻過程中，光刻膜首先暴露在紫外線光源下。光源由薄膜類型和應用定義，如DUV或DUV-叠加。在暴露過程中，光致抗蝕劑分子的分子被分解，暴露的分子被去除。此過程從光刻膠膠片中移除材料的不需要區域,創建所需的圖樣並創建膠片上的圖樣。然後，TEL Lithius機器能夠精確地將膠片上的圖樣轉移到感光工件材料中。光敏工件首先被暴露在高分辨率激光上，該激光精確精確地將膠片上的圖樣記錄在所需的基板上。然後將註冊的圖樣轉移到基板上,勾勒出所需的結構。TOKYO ELECTRON Lithius工具經過專門設計，通過其多步驟的應用過程，包括高清分辨率掃描、自動校正和高性能蝕刻，確保了片上圖樣操作的準確性和可重復性。通過這一過程，圖樣的精確度和精確度轉移到基材上，確保了高度可重現的過程。由於其精確度、精確度和可重復性，Lithius資產特別適合各種應用，包括開發和商用晶片制造、模式驗證、維修以及半導體制造的光刻。該模型也具有很強的適應性，能夠通過各種工藝和應用使用，如蝕刻、檢驗和各種表面處理。利用TEL/TOKYO ELECTRON Lithius設備可確保在多個領域實現高精度、高細節和高重復性,DUV光敏材料可為一系列電子制造工藝提供通用和可靠的應用。其緊湊的設計、高分辨率和制作復雜圖案的能力，為用戶提供了光刻技術的質子束，非常適合那些需要以最高精度制造的人。