二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763044 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）設計制造的多角度成像光刻設備，使半導體制造商能夠精確地制造精細結構，並進行光刻圖樣操作。該系統的工作原理是激光以各種角度掃描一個表面，並以高精度的基板級在基板上投影圖像。基板級能夠改變速度和方向，允許在蝕刻和圖樣制作過程中使用各種參數。然後，光敏的光致抗蝕劑被應用到基板上，從激光束掃描的圖像會在光致抗蝕劑上形成圖樣。這種模式，連同原始的透鏡掃描，被用於電子束選擇性地蝕刻基板的某些區域。TEL Lithius單元具有高分辨率功能,允許一致創建尺寸高達28納米的特征陣列。由於這種極好的分辨率和高精度，這臺機器能夠保持高度控制蝕刻和圖樣制作過程。此外，該工具還具有多個陣列級別，使得多層結構可以在基板上制造。這允許對布局進行各種修改和改進,這對於解決潛在的設計缺陷非常有用。雖然TOKYO ELECTRON Lithius資產設計用於半導體制造，但也可用於各種涉及蝕刻、光刻或塗層工藝的應用。這種安全可靠的模型還具有高級監視功能,可確保流程的每個階段都能順利運行。它還有多個通信端口，用於與其他系統的安全通信，以及一些其他可靠的安全措施。鋰設備是一個非常可靠和安全的解決方案，用於執行各種蝕刻、光刻和塗層工藝。其先進的特點、高分辨率的能力和各種安全特性使其成為半導體制造的絕佳來源。