二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763045 待售
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單擊可縮放
ID: 293763045
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Coater / Developer system, 12"
(2) Block machines
CRA robot
PRA robot
(3) IRAM robots
IRAS robot
(5) Front Opening Unified Pods (FOUP)
(2) Temperature controllers
(3) Cabinets:
Resist
Developer
Coater
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL製造的高度先進的光刻膠設備,又名TOKYO ELECTRON。TEL Lithius系統被設計為顯示和邏輯集成電路(IC)制造等各種光刻應用的工具。該單元可對各種薄膜材料和光刻膠產品進行精確的圖樣繪制。TOKYO ELECTRON Lithius machine附有幾個先進的功能,讓使用者能夠快速且準確的繪製各種薄膜材料。該工具配有動態焦點控制裝置,用戶可以準確快速地調整資產的焦點,以達到盡可能高的圖樣精度。它還具有一個可編程的晶片載波,允許用戶以最小的人工幹預將晶片移動到所需的位置。使用Lithius模型時,用戶可以從兩種不同的掩碼類型中進行選擇。第一種是小掩模,用於對晶圓的小區域進行圖樣化。第二種是大型掩模,可用於繪制較大區域的圖案。用戶可以從各種曝光習慣中進行選擇,包括單個和多個曝光周期。此外,該設備還包括各種激光電源設置,允許用戶設置其特定應用程序所需的功率級別。該系統還提供了一系列鏡頭選項,以優化不同應用程序的陣列性能。鏡頭尺寸和設計可以進行調整,以最大限度地提高應用的特征分辨率。此外,用戶可以從一系列照明源中進行選擇並收集目標等劑量。該單元還包括一系列安全功能,以保持操作員和用戶的安全,包括幾個監控機器空氣質量和溫度的安全傳感器。該工具還發出一個響亮的警報,讓操作員和用戶知道資產是否達到了不安全的水平。最後,該模型包括一個穩健的維護和校準程序,以保持設備的最佳運行。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款高度先進和可靠的光刻膠系統,可以讓用戶快速準確地對薄膜材料的小面積和大面積進行圖案。該單元提供了一系列功能,使用戶能夠調整焦點、選擇曝光周期以及設置一系列鏡頭和照明設置。此外,該機還具有多種安全功能,以確保操作員的安全.歸根結底,TEL Lithius是一種非常直觀可靠的光刻應用工具。
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