二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763046 待售
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單擊可縮放
ID: 293763046
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Coater / Developer system, 12"
(2) Block machines
CIM: SECS
Handler system: Robot (CRA, PRA, (3) IRAM, IRAS)
Factory interface: (5) FOUP
(2) Temperature controllers
(3) Cabinets:
Coater
Resist
Developer
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由半導體制造領域領先企業TEL開發的光刻設備。該系統被用於光刻過程，這涉及將圖樣從光掩模轉移到晶圓上。光刻裝置由一臺以極高的精度和一致性進行光刻過程的機器組成。機器有一個機械臂，它將正確的光刻膠層傳遞到給定的基板上。機械臂可以編程為將光刻膠應用於特定的位置和特定的層厚度。它還應用其他化學物質來輔助光刻過程。機器還配有固化裝置，用於硬化光刻膠，使其能夠精確地形成在基板上。固化單元可用於在特定溫度下固化光致抗蝕劑，這是確保光致抗蝕劑精確形成所必需的。TEL Lithius工具還具有多種安全功能,可確保員工和環境安全。它配備了一系列光學傳感器，用於檢測火花、靜電堆積、聚合物膜泄漏等危險情況。它還配備了安全措施，保護使用者免受有害蒸氣和粉塵的侵害。機器本身具有很高的耐用性和可靠性。其零件全部由優質材料制成，制造商提供詳細的維護指南，以確保資產保持其精確度和準確性。TOKYO ELECTRON Lithius對於專業的半導體制造業來說是一個非常有價值的工具。其準確性和安全特性確保光刻工藝產生一致和準確的結果，而其耐用性和可靠性將確保它在未來幾年繼續為行業服務良好。
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