二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766146 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款設計用於集成電路制造工藝的高精度光刻設備。它具有多種特性，可以產生可靠和可重復的結果，同時也能夠容納最先進的光刻材料。該系統具有兩種不同類型的腔室，LCT（氯化鋰電鍍罐）和PRT（光抵抗基底罐）以及一系列其他支撐腔室。LCT用於在晶片上塗上氯化鋰塗層，而PRT則用於塗抹光致抗蝕劑並發展層。這是使用一系列精確編程的光和化學運動完成的，確保該層均勻地應用並滿足精確的厚度和圖樣要求。光致抗蝕劑塗層是使用各種曝光方法開發出來的，如掩蔽、深紫外線或激光。這些方法允許精確控制圖層的厚度和圖案,從而可以創建極其復雜和定制的設計。該單元還配備了對準機，使其能夠輕松地將PRT和LCT罐與晶圓對齊，確保光刻膠被應用在正確的位置。此外,還包括幾種不同的冷卻系統,有助於確保光刻膠在曝光或顯影過程中不會過熱。最後,TEL Lithius還配備了許多自動化功能,從而提高了一致性和生產率。這包括自動晶片處理、光刻膠應用、塗層厚度控制和對準。這樣可以確保每個晶片具有相同的精度級別,從而降低出錯的風險並確保可重復的性能。總體而言，TOKYO ELECTRON Lithius是一種極具能力和可靠性的光刻工具。它的特點,包括自動處理、精確對齊以及高級曝光和開發,非常適合創建復雜而細致的光刻膠層,非常適合要求最苛刻的制造工藝。