二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766617 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻膠設備，用於處理在電子、光伏和生物技術的許多分支中發現的薄膜。該系統由一系列高度專業化的組件組成，如旋轉級、吸收池和真空室，全部用於沈積、顯影和蝕刻薄膜。旋轉級配備了先進的傳感器單元和電機，使其能夠以可變速度和運動輪廓旋轉，從而能夠精確沈積薄膜。這一階段通常被整合到一個真空室中，它能夠控制環境的溫度、壓力和純度。真空室還裝有一個專門的吸收電池，其中包含一系列有機金屬試劑，設計用於將薄膜高效和精確地沈積到底物上。此外，這臺機器還具有一個內置的冷卻區，有助於保持沈積過程，使薄膜厚度的優化能夠滿足特定的要求。TEL Lithius光刻工具還具有先進的成像資產,能夠開發和蝕刻膠片。該模型使用頻率可調的低功率光源來創建被沈積薄膜的增強圖像。一旦膠片被開發出來，設備就能夠使用經過改裝的口罩和保護空間，以極高的精確度對其進行蝕刻。這種成像系統允許創建厚度高達450埃，或4.5納米的精確薄膜。而且，TOKYO ELECTRON Lithius光致抗蝕劑單元附帶了一系列最先進的支持系統，如遠程診斷、自動控制和多層安全系統。這些支持系統能夠有效地利用機器的所有功能,以開發和蝕刻高度復雜的薄膜。綜上所述，鋰光刻工具是一種高度先進、設計高效的資產，適合最苛刻的薄膜相關應用。它提供了廣泛的組件，包括旋轉級、吸收室、真空室、成像模型和一系列支撐系統，用於沈積、開發和蝕刻具有各種復雜程度和準確性的薄膜。