二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293766619 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是由TEL（TOKYO ELECTRON Ltd.）開發的一系列具有先進特性的光刻系統，使其成為光刻應用的行業標準。這些系統提供了玻璃、晶體、聚酰亞胺和多晶矽等基板的精確圖樣，並具有精確的對準和曝光控制。設備的主要部件包括光敏處理環境、曝光系統、對準單元、過程控制機和後處理工具。光致抗蝕劑加工環境是專門為在安全、受控的環境中處理機載危險化學品加工而設計的。這確保了光刻作業能夠可靠地以準確和精確的方式完成。曝光資產為光刻圖樣的應用提供了量身定制的光強度分布。這是用高精度的USHIO光源陣列來完成的，從而在整個基板區域產生均勻分布的光束。曝光過程可以根據需要進行調整，以實現精細的圖案，並具有極好的對準精度。對準模型在曝光過程中提供精確的基板定位和運動。一組高度敏感的探測器決定了曝光過程前後基板的確切位置，允許精確的叠加和模式配準。此外,還使用CCD攝像機進行模式識別和成像分析.工藝控制設備對精密光刻處理進行所有必要的計算。該系統可以自動校準精確的掩模定位，計算理想的曝光參數，並針對較小的溫度和濕度變化進行調整。最後,後處理單元處理任何額外的處理要求,例如顯影、蝕刻和保護塗層。本機提供加工前後所需的紫外線和化學防護，以保持基板的完整性。采用TEL Lithius光致抗蝕劑系統的結果是可靠和高質量的。需要精確陣列、精確對齊和可重復性的光刻應用程序以無與倫比的精度和精確度執行。該工具足夠強大，能夠處理復雜的應用程序，並能夠高效實現復雜的電子設備。