二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293767330 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款精密的光刻設備，旨在提高光刻精度、速度和精度。它為光刻師提供了最高水平的性能和對其光刻工藝的最大控制。TEL Lithius系統包括兩個主要元素,一個是光刻工具,另一個是光刻裝置.光刻工具的設計是為了快速暴露，開發和蝕刻圖樣到目標基板上。它配備了高精度電機、光學、圖像捕獲和數據記錄系統，可以處理300 x 300 mm大小的目標基板。光致抗蝕劑機是一套精密的抗蝕劑制劑，具有特定的高級成分效率（ACE™）抗蝕劑制劑工藝，以確保均勻暴露和向基材轉移圖樣。TOKYO ELECTRON Lithius利用軟件套件實現對過程的精確控制。它包括用於生成所需圖像的Pattern Generator軟件、用於校準曝光參數的Exposure軟件和用於管理和控制整個光刻過程的Auto-Process軟件。其他功能包括用於檢測錯誤並糾正錯誤的自動校正工具,以及用於存檔圖像數據的資產。Lithius設計用於使用0.8 um的格式分辨率對基板進行精確一致的處理。它還支持角度曝光和旋轉曝光,允許用戶在設計和制造過程中實現更大的靈活性。該模型設計為節能，有助於降低能源成本和總體生產成本。它還采用高速成像和掃描技術,有助於更快地更新和提高吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius還能夠進行自動檢查，使用戶能夠審查其光刻工藝的質量，並確保其產品具有一致的質量。總體而言,TEL Lithius是一款精密的光刻設備,使光刻師能夠輕松一致地達到最高精度和準確度。它為用戶提供了一個強大的工具，用於原型制作和生產的高效處理。
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