二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293814164 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 293814164
晶圓大小: 8"
Coater / Developer system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是TEL開發的光刻膠設備,結合了先進的軟件、硬件和材料,使光刻膠能夠精確的曝光。光敏材料是一種用於制造半導體器件和其他集成電路的光敏材料,由兩個主要組件組成:光敏膠片和光敏顯影劑。TEL Lithius光致抗蝕劑系統旨在準確、一致地測量和控制各種基板上的光致抗蝕劑暴露。它使用集成到制造環境中的曝光單元,能夠為不同的光刻膠層提供精確劑量。當與專門的曝光機結合使用時,光刻膠層的曝光劑量可以調整,以匹配下面的晶片或基板的特性。TOKYO ELECTRON Lithius photoresist資產的曝光工具使用了先進的紫外線光源,可以精確調節,以確保提供正確的曝光劑量。然後,該光源與自動層厚度監測模型相結合,從而能夠精確控制曝光層。設備還配備了處理前、處理後計量等各種外圍系統,用於層厚的測定和驗證。Lithius photoresists system is designed specificated for micric-machining processes using photolithography.該單元能夠在微加工晶片上蝕刻或沈積圖樣,確保這些圖樣具有一致和可靠的特性。該機器還能夠自動檢查光刻膠圖樣,以驗證其是否符合所需的設計。通過結合先進的軟件、硬件和材料,TEL/TOKYO ELECTRON Lithius光刻工具提供了一種可靠且高度精確的制造微器件和集成電路的方法。其精確的曝光和測量技術可確保每個光刻膠層都經過精確的定制,以符合設備規格,而其自動層監控資產可確保一致和可靠的生產結果。
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