二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293814758 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款業界領先的用於半導體應用的光阻設備。光致抗蝕劑系統允許使用光敏化學物質，該化學物質在暴露於紫外線輻射下會發生物理和/或化學反應。這開啟了多種應用，如光刻、薄膜沈積、蝕刻和圖樣制作。TEL Lithius單元提供了改進的光圖案控制和優化。它采用旋轉式設計，窄光束的紫外線聚焦在抗蝕層上。太陽能再轉化為化學能，引發光敏反應。TOKYO ELECTRON Lithius機器提供了卓越的精度，允許更小的裝置尺寸，更快的循環時間，更高的產量。鋰刀具由堅固的材料構成，是為在半導體制造中取得最佳效果而專門設計的。資產的精密導向部件是氣密的，沒有裸露的機械或電氣部件。這樣就可以在維護最少的情況下進行可靠和一致的操作。此外，該模型緊湊高效，具有高分辨率的操作，可以很容易地應用於多個應用。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius的操作快速準確。使用先進的冷卻設備，系統可以減少阻擋罩內的熱點。這提高了抗蝕劑圖樣的精度，避免了器件失真，最大限度地減少了化學廢棄物。此外，該裝置有多種控制UV光輸出的選項，允許在不同的應用中精確控制光敏反應。為了保證精確的光刻和良好的光刻效果，TEL Lithius機配備了一套精密的檢測和監控系統。這包括成像工具、電極監視資產和光功率監視器。成像模型允許用戶監控過程並根據需要進行調整。光功率監視器可以檢測和保持紫外線強度的精確水平，以優化抗蝕劑的圖樣。總體而言，TOKYO ELECTRON Lithius是一款強大的光阻設備，可以提供高度精確的結果。適用於多個半導體應用，允許對過程進行方便的控制和監控。Lithius憑借其先進的功能和全面的系統，提供了一個優秀的光刻和光刻平臺。