二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293821715 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL Ltd開發的光阻設備。（TOKYO ELECTRON）用於生產集成電路（IC）。該系統由高精度曝光設備、高速精密開發儲罐、表面處理設備、光刻軟件等幾個部件組成。在光刻過程開始時，將「光致抗蝕劑」應用於半導體晶片。光致抗蝕劑是一種對紫外線或其他輻射敏感的光敏材料，視使用的光致抗蝕劑類型而定。與TEL Lithius單元一起使用的高精度曝光設備，精確地將光刻膠暴露在光線下。該設備由高度穩定的真空密封工藝環境組成，有一個特殊的燈源保持在均勻的溫度下，確保了曝光的準確性和可靠性。該機還包括一個高速精密開發罐，在光刻膠的開發中提供了最高的精度水平。精密開發罐裝有高度精確的基板定位工具，允許晶圓精確對準。除了光刻膠開發外，TOKYO ELECTRON Lithius資產還包括表面處理模組。該模塊用於粗加工、濕洗和脫脂，以及幹式等離子體蝕刻，所有這些都是形成所需的光致抗蝕劑層所必需的。與其他現有系統相比，Lithius模型不僅提供了最高的精度水平，還減少了光刻工藝的工藝時間。這使得半導體公司生產IC的速度比以前更快，成本更低。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius設備是由TEL/TOKYO ELECTRON Ltd開發的綜合光刻系統。（TEL）用於IC生產。該單元由高精度曝光設備、高速精密開發儲罐、表面處理設備、光刻軟件等多種部件組成。該機器具有高精度和高速度,能夠以比以往更低的成本和更快的速度生產IC。