二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293829709 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種先進的光致抗蝕劑設備，用於工業制造工藝。它結合了UV曝光、光掩模創建和抗應用等光刻創新技術，實現了產品在多個行業的最高分辨率和最具成本效益的制造。該系統由暴露單元、集成抗蝕劑和基板定位階段三個主要組成部分組成。曝光裝置利用先進的光學技術，將大面積的圖案投射到基板上。這允許投影具有高分辨率和高均勻性的大而均勻的圖案。它專為高度自動化的生產過程而設計,提供靈活且易於自動化的曝光程序。集成的抗蝕劑塗抹器不需要手動旋轉塗層和均勻性校正。這個自動裝置會自動以固定和預定的模式分配精確數量的抗蝕劑。使用的抗蝕劑可以是任何一種水基、有機或離子抗蝕劑，讓廠商選擇最適合自己需求的抗蝕劑。基板定位階段負責將基板定位在曝光單元的任何角度和位置。這使得製造商可以精確控制光敏樹脂在基板上的對準和聚焦。因此,制造商可以在較小的基板上打印時獲得更高的分辨率。這三項技術的結合創造了一個強大而高效的光敏單元。TEL Lithius提供超高分辨率和準確性,成本僅為其他系統的一小部分。其自動化和高效的功能使制造商能夠降低生產過程的成本和時間,並使他們能夠實現其產品的最高精度和分辨率。這使得TOKYO ELECTRON Lithius對於任何尋求可靠、經濟高效光刻機的制造商來說都是一個絕佳的選擇。