二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293829891 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種下一代光刻膠設備，為要求復雜納米級結構的先進技術提供集成的陣列解決方案。該系統使用一個特性長度小於100 nm的激光束，允許創建低至低於50 nm尺寸的光刻膠圖案元素。TEL Lithius所使用的Laser Direct Imaging （LDI）技術為陣列制作過程提供了最大的速度和控制。采用超低光圈（ULNA）鏡頭和最先進的操作軟件。這種組合導致高速高分辨率成像，最小曝光劑量僅為0.2 mJ/cm2。該設備還非常可靠，因為它具有先進的硬件保護機制，以確保光刻膠圖樣沒有缺陷。此外,該機器還具有內置的清潔功能,如顆粒檢測、除塵和潔凈室完整性檢查,使其非常適合復雜的環境。TOKYO ELECTRON Lithius對激光束的精確控制有助於最小化模式失真。該工具允許高速輪廓控制,而不犧牲過程精度。它還采用了先進的反饋算法，將焦點一直優化到底物，從而獲得準確的工藝結果和改進的成像，並縮短了開發和周期時間。該資產還配備了自動化維護和優化功能，使免維護量產成為可能。這些功能可以使用戶持續監控流程參數並快速響應更改。該模型還支持圖像模擬，使用戶可以在操作設備內提前開發出完美的航空圖像。鋰系統強大的特性和可靠性使其成為需要復雜納米級結構的應用的理想選擇。該設備可確保最高精度、速度和可靠性,使其成為任何需要100 nm以下尺寸光刻膠圖案的先進技術所必需的設備。