二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9032288 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是半導體工業中用於光刻工藝的光刻設備。光刻是一種使用光敏化學物質將設計圖樣轉移到基板上的印刷技術。光刻膠系統由光源、包含設計圖案的光掩模和光刻膠材料組成。光源通常是紫外線激光或汞弧燈。光掩模是一塊玻璃、金屬或塑料，上面刻有設計圖案、孔或凹槽。光致抗蝕劑是一種光敏材料，施加在基板的頂部。當暴露在光線下，光致抗蝕劑被激活，使其與底物形成化學反應，將圖樣蝕刻到表面。TEL Lithius單元旨在提高光刻工藝的精度。利用電極測量系統和激光檢測系統，提高了光掩模和光刻膠系統的精度。使用多個電極可以讓機器檢測光刻膠材料中的任何變形，以及任何粒子，確保光刻膠圖樣的精度。此外，精密激光檢測工具利用了同時觀測精度，並在過程中自動調整失準和運動誤差。TOKYO ELECTRON Lithius資產的設計還允許電路特性尺寸小於傳統光刻工藝所能達到的尺寸。這是利用精密激光檢測模型和設備中的微處理電路實現的。精密激光檢測系統用於檢測光掩模和光刻膠的尺寸、形狀和方向，使得在基板上產生極小的特征成為可能。微處理電路還允許光刻過程自動化，使用戶能夠控制和調整線寬等輸出參數。總體而言,Lithius設備非常精確、自動化,能夠創建小尺寸的電路功能。這使得它非常適合在半導體工業中使用，提供高效可靠的光刻工藝。