二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102163 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是在半導體器件發明中，利用照明器在晶圓基板上創建光刻圖案的光刻設備。它旨在減少在晶片基板上創建光刻圖樣所需的時間，並創建更清晰、更精確的光刻圖樣。要打造這些高精度圖案，TEL Lithius系統采用集成光學、先進光源、光傳輸單元、包括電子束曝光在內的專有光刻技術以及I線、深紫外線和EUV光源的組合。利用這些技術，機器可以在大面積上產生密集、均勻、高精度的光刻圖案。集成的光學器件使光源能夠創建非常精確的局部模式，並且光傳輸工具有助於盡可能精確地傳輸光。光刻資產還使用了幾種專有技術，包括電子束曝光技術，利用高度集中的電子束在大面積上制造圖樣。它還利用波長為248 nm至13.5 nm的I線、深紫外線和EUV光源。該模型還具有一系列叠加精度和過程控制特征，包括自動晶圓映射、掃描角度控制和溫度補償。這些特性加在一起有助於確保光刻設備產生的圖案準確、精確。TOKYO ELECTRON Lithius被設計為晶圓基板陣列的高效系統。集成光學、光源和專有技術的結合有助於創建極其精確的光刻圖樣,從而減少了圖樣制作所需的時間。該單元也非常精確，具有自動晶圓映射和其他功能，以確保模式精確和統一。這些特性使Lithius成為創造高品質光刻圖案的理想機器。