二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105625 待售
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ID: 9105625
Develop Process Station
P/N: DEV ASSY
Includes:
FRAME ASSY BASE - 5085-412352-13
BASE(MIDDLE) ASSY - 5085-412349-12
CUPBASE ASSY - 5087-404181-12
3PIN ASSY - 5087-403368-12
COVER(CUPBASE) ASSY - 5085-409612-15
OUTCUP ASSY - 5087-401364-13
ARM(L) ASSY - 5087-400475-16
BASE(SCAN) ASSY - 5085-412389-11
MOTOR(L) ASSY - 5087-402854-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
WASHERNOZZLE ASSY - 5085-405111-11
AIR OPE ASSY(BR) - 5085-407386-16
SCAN(ARM-B) ASSY - 5087-403489-15
COVER ASSY - 5085-412524-12
FRONTBOX ASSY - 5085-412353-13
E-BOX(DEV) ASSY - 5087-403481-11
SUPPORT ASSY - 5085-412354-13
FRAME ASSY MOTOR - 5087-400478-15
DUCT(DEV)ASSY - 5085-412380-13
CHUCK(SS) ASSY - 5085-411385-11
ARM(R) ASSY - 5087-400476-16
MOTOR(R) ASSY - 5087-400477-11
PULLEY ASSY - 5085-404442-12
NOZZLE TOP(NLD) ASSY - 5085-413053-11
LD BATH ASSY - 5085-404315-17
SUPPORT ASSY(NLD) - 5085-401943-11
WATERBLOCK ASSY(NLD) - 5085-404692-14
VALVE ASSY(AMF) - 5087-400486-15
CUP ASSY (LD) - 5085-409683-13
MANIFOLD ASSY (4LINE) - 5085-404368-13
SOLENOID(BLOCK) ASSY - 5085-408453-11
GUIDE(SCAN) ASSY - 5085-409482-11.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款用於多種行業的光刻膠設備，例如半導體器件和顯示器。TEL Lithius以其先進的光刻系統提供高精度的材料沈積和精細的圖案。該單元以高分辨率投影儀為基礎，該投影儀將化學反應光圖像投射到沈積的薄膜材料上，產生高精度的圖樣。此外，投影儀與多尺寸激光同步，以確保最佳分辨率。這臺機器可用於產生最小特征尺寸分辨率為0.1µm或更小的錯綜復雜的設計。采用濕蝕刻和化學蝕刻工藝相結合，光刻膠殘留物容易去除。這樣可以確保殘留的光致抗蝕劑不會轉移到設備的其他部分,這可能會導致電氣故障和其他生產錯誤。TOKYO ELECTRON Lithius工具還包括一個先進的控制資產，用於精確的薄膜沈積和圖案。模型軟件能夠控制多個參數，如激光投影儀同步、蝕刻參數和其他設備設置。此外，系統軟件允許與外部數據庫集成，為快速優化生產參數提供數據。此外，該單元還包含一個高精度的真空室，為光刻膠層的開發和加工提供了最佳的大氣控制。該真空室還減少了氣泡和殘留的光致抗蝕劑。最後，Lithius機器帶有一個用戶友好的界面，它允許簡單直觀的操作。用戶還可以自定義工具的順序,以便一次處理一種或多種材料,以及使用內置監視器監控生產過程的進度。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Lithius資產是一種先進的高精度材料沈積和精細圖樣的光刻模型，高度可定制，為光刻膠的開發和加工提供了最佳的大氣控制。
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