二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105628 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Photoresist Equipment是專門為精密光刻應用而設計的先進光刻加工技術。該系統使用紫外線（UV）光源在矽片上創建圖樣,然後將其用作設備制造的基礎。該單元的主要部件包括專門的光刻材料、面具或藝術品，以及集成精密光學和照明機器。該工具的所有部件都經過設計和優化，可用於高精度光刻加工。光敏材料是一種光敏聚合物，能夠在矽晶片上產生復雜的圖案。TEL Lithius Photoresist Asset中使用的光阻是一種高分辨率、交聯的光聚合物，對紫外線高度敏感。這種光致抗蝕劑被旋轉塗覆在矽片上，並在曝光前進行高精度的對準操作。集成精密光學模型用於將圖稿或遮罩圖案投影到光刻膠上。此圖稿精確對齊,以確保UV燈創建的圖樣在設備制造商指定的公差範圍內。TOKYO ELECTRON Lithius Photoresist Equipment還利用發光二極管（LED）陣列進行照明。LED照明陣列比微電子制造中使用的其他光源更可靠、更高效，一般光譜範圍更廣。LED產生明亮、均勻的光束，該光束精確地指向光刻塗層的矽片。一旦曝光，光刻塗層的晶片就會經過一系列的化學過程，如顯影和烘烤。在開發過程中，光致抗蝕劑有選擇地從晶片的非陣列區域中移除，留下陣列區域。烘烤過程進一步將剩余的光刻膠交聯，確保圖案化區域的極致硬度和電絕緣。Lithius Photoresist System為生產高品質集成電路提供了精密光刻解決方案。它使用高分辨率光聚合物、精密光學器件和LED照明陣列可以實現一致的特征尺度處理和設備制造。此外,它能夠以最小的公差產生錯綜復雜的陣列,這是制造當今高度復雜的電子設備的理想工具。