二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105630 待售
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單擊可縮放
ID: 9105630
Process Block Robotics Arm
P/N: PRA ASSY
Includes:
010-204079-11 FORK(200),PRA 1
5010-307799-13 BLOCK(200),PRA 3
020-005778-1 CAP SCREW CBSST4-8 3
020-002601-1 BAIND SCREW M3*4 SUS304 6
032-000585-1 FLAT WASHER M4 1L SUS304 3
5010-308529-11 PLATE(1-200),HEAT SHILED 1
5010-406949-11 SUPPORT(X-1) 1
5010-308530-11 PLATE(2-200),HEAT SHILED 1
5010-302404-11 FRAME 1
020-000028-1 CAP SCREW M4*6 SUS304 2
020-007602-1 TORX CAP SCREW M4*8 SUS304 2
020-002913-1 CAP SCREW M4*8 SUS304 W/SPR & FLAT WASHER 2
032-000011-1 FLAT WASHER M4 SUS304 POLISHED ROUND 2
032-000058-1 SPRING WASHER M4 SUS304 2
5010-101146-12 BASE,(X)UPPER 1
5010-101147-13 BASE(X),LOWER 1
5004-400017-12 ARM(X1-1) (509510045511 1
5010-305344-11 SUPPORT(X1-1) 1
5004-400018-11 ARM(X2-1) (509510045511 1
5010-306532-11 ARM(X2-2) 1
5010-305345-12 SUPPORT(X2-1) 1
5004-400019-11 ARM(X3-1) (509510045511 1
5010-306533-11 ARM(X3-2) 1
5010-305346-11 SUPPORT(X3-1) 1
5004-400015-11 CLAMP,BELT (509510045411 6
5010-401565-12 PLATE 5
5010-404925-11 STOPPER(X-1) 3
5010-404926-11 STOPPER(X-2) 6
5010-305873-11 SUPPORT(X-2) 1
5010-305987-11 SUPPORT(X2-2) 1
5010-306512-12 STAY,SUPPORT 1
5010-405028-11 COVER,CABLE 1
5010-404472-11 COVER,SENSOR 1
5010-405427-11 PILLER(1) 2
5010-405428-11 PILLER(2) 4
5010-307086-12 PLATE(1),SIDE 1
5010-306535-12 PLATE(2),SIDE 1
5010-306536-12 PLATE(3),SIDE 1
5010-404927-11 BLOCK,AJUST 2
5010-405430-12 SHUTTER(X) 3
5010-405429-12 BRACKET,SUPPORT 1
5010-408761-11 SHUTTER(TH) 1.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光刻設備，設計用於曝光半導體基板和其他晶圓級器件。光致抗蝕劑系統允許在基板上創建各種圖樣，從而能夠以高精度和精確度開發高性能電子元件。TEL Lithius系統使用EUV（極端紫外線）光源來實現0.3 um設備特征的光刻,並檢測尺寸小至0.2um的掩模缺陷。該裝置設有一個自動掩模檢查室，利用低像差（模糊）的精確掃描光學器件檢測掩模中的缺陷。機器還使用了一個固定磁鐵工具，以防止蒙版在曝光時移動。該資產支持各種曝光模式，允許最佳的基板陣列。例如,一次曝光模式允許使用一個掩碼同時曝光多個設備。高分辨率點曝光模式使單個像素的曝光具有比傳統步進系統更高的分辨率。另外，多重曝光模式使得光強度的調整能夠適應基板的條件。TOKYO ELECTRON Lithius模型設計方便操作。它具有直觀的用戶界面，設計為用戶友好，允許操作員快速掌握設備。它還具有高速和高度精確的自動對焦功能，提供更快的對焦時間和更高的精度。此外,系統還具有自動校準功能,無需手動校準。最後,Lithius單元非常可靠,其模塊化體系結構針對高速和性能進行了優化。它具有靈活的可擴展設計，允許機器升級以滿足未來的要求。該工具還內置了環境和安全措施，為所有用戶提供安全和健康的工作環境。
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