二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105632 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種先進的光刻設備,旨在改進各種應用的光刻解決方案。該系統將光源與獲得專利的幹式抗蝕劑單元結合在一起，以比傳統濕式顯影更高的精度在晶片上創建圖樣。該機器采用高強度紫外線光源和先進的光學工具，用於均勻的照明場。所應用的抗蝕劑設計成可幹法加工，並以潮濕發育中未見的方式對光線具有反應性。結果是一個極其均勻和高度可靠的圖樣化表面。通過一系列步驟，包括預感應、對紫外線照射的反應和後顯影，可以對資產的幹性抗蝕劑進行照相設計。TEL Lithius模型的一個獨特特點是，每一步都可以通過使用軟件和圖像分析工具進行自動化和監控。這使用戶能夠準確量化光刻膠工藝的性能，以確保更高的準確性和準確性可預測性。TOKYO ELECTRON Lithius設備設計了多種制造和功能資源，以確保性能一致。這些資源包括一些攝像機系統，為用戶提供其抗蝕劑的精確深入視圖；石英透鏡，保證晶圓的穩定和無激光照明；以及粒度調節功能，使用戶能夠控制照明能量。該系統還包括日常維護功能,確保設備隨時間保持一致。Lithius machine除了促進其圖案高度精確的均勻性外，還提供了0.25 µm或更高的更好的覆蓋精度，為用戶提供了改進的線條和空間結構。該工具的其他特點包括擁有成本較低、不需要光刻膠溶劑以及能夠在綠色晶圓片中操作。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius資產具有從自動化到維護的廣泛功能,旨在一致生產微電子設備和組件。