二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111778 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是設計用於制造半導體器件的先進光刻設備。它旨在以低成本和高吞吐量提供高質量的陣列性能。該系統采用光刻技術，稱為光學光刻。這是一個通過遮罩投射光在半導體材料上產生圖樣的過程。TEL Lithius單元配備了先進的光源，可發射紫外線。這種紫外線通過光遮罩被引導到光刻塗層的半導體材料上。光刻膠層是感光的，暴露在光線下會改變其結構，產生圖案。然後可以開發這種模式並轉移到半導體材料上。該機具有先進的光學照明工具、三自由度（3-DOF）對準模塊、先進的晶圓掃描以及改進的特征分辨率，最高可達65nm。該資產能夠產生線寬為1-2um的高精度圖案，並完全消除縫合效應。它還有一個先進的光刻膠控制模型，可以精確管理光刻膠層的溫度、組成和粘度。該設備還具有自動對準系統，可確保各種材料的精確對準和精確圖樣。它有一個專門的模模校正單元，可以有效消除過程中產生的任何工件或不規則性。此外，機器還有一個沈積工具，用於在基板的圖樣表面上增加保護層。該資產能夠同時運行多個進程,並且與大多數掩碼對齊器和晶圓步進器兼容。它還能夠處理具有多層和特征的大型復雜設計。總體而言,TOKYO ELECTRON Lithius模型旨在為高精度陣列設計和半導體器件生產提供經濟高效的解決方案。