二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111796 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是全球領先的半導體制造設備和材料供應商TEL的可靠光刻設備。光致抗蝕劑系統用於制造半導體器件，特別是在光刻過程中，光致抗蝕劑成像用於將電路圖樣傳遞到矽片上。TEL Lithius專為高精度和可靠性而設計,提供獨特的功能以提高流程性能。該系統旨在減少與光刻膠曝光相關的常見問題，如不均勻曝光和模式失真。它通過使用具有大數值孔徑和高波長精度的先進光學單元來做到這一點。它還有一個可編程的Z伺服機，可以根據預定義的設計精確調整晶圓位置。光學和Z伺服系統可以很容易地校準，以提高精度和可重復性。TOKYO ELECTRON Lithius憑借其自動化的溫度和濕度控制工具,通過各種溫度和濕度條件提供了穩定性和可靠性。這有助於確保用於成像的光刻膠即使在長時間曝光後也能保留其性能。資產還配備了安全功能，在溫度和濕度水平超過預設閾值時自動終止曝光過程。此外,該型號還具有攝像頭模式,允許用戶輕松監控光刻過程。此功能提供實時數字成像數據,可用於在光刻過程中快速檢測任何缺陷或錯誤。相機模式也可用於調整曝光參數，以提高圖像質量。總體而言,Lithius是一款可靠的光刻設備,提供旨在提高光刻工藝性能的功能。它有一個先進的光學系統來提高層的分辨率和穩定性，一個可編程的Z型伺服裝置用於精確的晶圓定位，自動溫度和濕度控制的穩定性，和一個相機模式的數字成像。這些特性和改進的工藝性能使TEL/TOKYO ELECTRON Lithius成為半導體制造商的理想選擇。