二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111798 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款下一代光刻膠設備，旨在提供極精確可靠的光刻膠圖樣曝光。該系統利用數字成像和最新的先進光刻技術，為先進的半導體工藝產生極其尖銳的高分辨率成像特性。TEL Lithius單元旨在滿足最現代半導體加工的嚴格要求。該機器具有高度可靠的全自動曝光工具,既可以接受用戶定義的模式,也可以接受本機生成的模式。為用戶提供了一系列曝光參數（包括波長、波長精度和曝光時間），可以根據工作要求對結果進行微調。該資產還可以快速處理大型圖像，曝光時間僅為0.3秒，分辨率高達0.15 µm。該模型還可以很容易地與其他光學系統集成，使其在大規模生產應用中非常有用。TOKYO ELECTRON Lithius的最先進的照明工藝利用了先進的光學，以及光斑大小、數值孔徑、偏振等可編程的照明參數。這種特性的組合允許最佳的光刻圖像，以及緊密，精確的線條和高質量，均勻的密度在產生的圖樣。設備的另一個關鍵功能是專有的PhotoStencil軟件,它提供了廣泛的模式分配和操作功能。該軟件也是高度可定制的，可以很容易地針對各種應用進行定制。PhotoStencil軟件還確保圖像模式的精確定位和對齊,以及包括自動切口校正、多重曝光模擬和實時數據監控在內的多種附加功能。該系統還集成了幾種軟件解決方案，允許用戶在各種條件下模擬他們的曝光過程，使他們能夠根據客戶的需求更好地預測和優化流程。總體而言,Lithius Photoresist單元包含精密光學、光學集成、人體工程學設計、高級光刻技術和軟件技術的組合,可為半導體器件生成極其精確可靠的圖像。用戶友好的特點、易於設置以及能夠在幾種不同的環境中操作,使機器成為現代半導體處理的理想解決方案。