二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111800 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）開發的光阻設備。它是一種光刻系統，旨在為具有超細特性的半導體基板設計圖樣。它結合了同步高分辨率激光器（SHL）和獨特的光學集成技術，實現了卓越的光阻處理和圖像傳輸。SHRL是一種激光照明源，具有同時曝光和控制光強度、循環頻率和曝光時間的功能。這種激光器能夠產生10納米以下的圖樣，這是任何光刻裝置中最小的。該機還能夠直接寫入光刻，從而無需傳統的校準和掩模層。TEL Lithius光致抗蝕劑工具還具有完全集成的光學技術,可在大範圍內實現高精度成像,並具有出色的對比度和分辨率。它具有閉環控制資產,可確保每次曝光時都能獲得可重復的結果。憑借其先進的特點，它提供了更高的材料利用率和改進的光刻耐久性。該模型還包括Image Director軟件,該軟件提供陣列層的平移、旋轉和縮放,以完全控制設計過程。其他功能包括自動對焦以確保每個模式的精確聚焦,以及直接讀出測量以輕松檢查參數以優化過程。總體而言，TOKYO ELECTRON Lithius光刻設備是一種強大的光刻工具，內置在一個小的、易於使用的系統中。它具有先進的激光技術和高度集成的光學器件，允許用戶以納米級分辨率和特性實現卓越的圖案性能。它是需要小尺寸特征和精確成像的應用程序的理想解決方案。