二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9204825 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是由TEL（TOKYO ELECTRON Ltd.）開發，並得到尼康計量（Nikon Metrology）代言的先進光刻設備。它旨在處理最具挑戰性的制造和生產過程。它不需要掃描，而且比傳統的光刻膠快得多。TEL Lithius系統使用軟件控制的基於解決方案的設計來生成精確的模式和圖像。其先進的晶圓級光刻技術確保了非常高的分辨率和精度，特征尺寸為0.1至50 μ m。它還提供寬線寬度控制（小至0.15 μ m）和卓越的線寬變化性能。TOKYO ELECTRON Lithius單元為無遮罩光刻提供了一種低成本的解決方案，並允許高精度光刻應用。機器使用專有軟件來控制光刻膠過程的各個方面。這包括模式生成、晶圓布局、晶圓處理和掩碼優化。鋰是基於一個自下而上的沈積過程，開始於一個均勻的抗蝕層塗覆整個晶片。然後有選擇地將該層暴露於光源，如ebara或石英燈，時間是預定的。在暴露於這種光之後，光致抗蝕劑被開發和加工，以便制造圖樣和產品。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius工具能夠產生高精度、超精細的細線和高縱橫比結構。它也非常節能，在過程中盡量減少浪費。此外,它非常易於使用,並且需要最少的培訓和維護。TEL Lithius是高端半導體和MEMS/納米器件制造的可靠、經濟高效的解決方案。適用於生物醫學、電子、汽車、電信、顯示器和印刷電路等多個行業。該資產可用於創建非常復雜的模式和組件,非常適合批量生產小型零件。