二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9218117 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款創新的光阻設備。它是一套綜合性的工具，旨在促進生產半導體元件的高效光刻工藝。光刻膠系統允許對各種類型的電路和組件進行快速原型設計和開發。TEL Lithius系統采用了先進的化學機械平面化技術。這項技術的工作原理是在基板上創建一個水平和均勻的表面。這是通過使用磨料墊來實現的，磨料墊會緩慢地穿過基板，並由光學探測器不斷監控，以消除任何缺陷或不一致之處。基材拋光後，在表面塗上光刻膠，呈薄薄的均勻層。這樣可以將圖樣蝕刻到基板層中。隨後,使用特殊的蝕刻工藝從表面精確去除任何不需要的材料。其結果是一個精確的圖案化基板層具有很高的精確度。TOKYO ELECTRON Lithius單元還包括一套全面的成像和成像分析工具，以協助半導體元件的開發。這些工具可用於獲取陣列參數，如線寬、角度、叠加和光刻膠厚度。然後可以使用此信息修改或微調陣列,以確保創建精確蝕刻的組件。對於改進的掩模對準，Lithius還提供了一套全面的步進對準模塊和實時橫截面成像工具。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius machine是半導體元件生產的無價工具，在嚴密的設計精確度內提供精確的制圖能力。該工具適合用於生產最新的高端半導體器件，如內存和處理器芯片。它還提供了快速原型設計和子系統開發的能力。