二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235182 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius，又稱大面積細圖樣平臺（Large Area Fine Patterning Platform, LFtec），是一種光刻設備，用於在大型半導體晶圓上創建均勻、微米大小的圖樣。該系統采用先進的熱成像工藝，以高通量效率在光刻膠中曝光圖樣。LFtec能夠產生圖樣,圖樣範圍為5到20 µm,對準精度在1 µm以內。LFtec單元基於光刻工藝，由三大部分組成；照明光學器件、光刻膠和照片對齊方式。首先,照明光學器件將特定的圖樣照射到光刻膠上.然後，光致抗蝕劑吸收光產生化學反應，這取決於光致抗蝕劑的種類。相片緩沖區對應於每個晶片的圖樣。LFtec機器使用的TEL高級熱成像工藝有助於提高吞吐量效率。它采用紅外光源快速加熱光刻膠，與傳統光刻設備相比，這有助於以更快的方式曝光圖樣。它還具有高精度的不穩定控制空間濾波器，以減少線寬變形的模式。此外，LFtec工具被設計為可以輕松處理200毫米至12英寸晶圓的多個晶圓尺寸。它還提供了與實時數據的完全集成，以確保其準確性和可重復性。LFtec資產獨特的成像能力使其成為在大型晶片上創建復雜模式的理想選擇。從模型中創建的統一而精確的模式使其非常適合集成電路（IC）、LED顯示器等多種先進應用。