二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235183 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是光刻和制造產品的領先供應商TEL Ltd開發的光刻設備。該系統旨在幫助微電子設備、載流子和組件的生產、測試和成像。該單元由一組組件組成,這些組件與各種蝕刻工藝結合使用。機器的主要部件是TOKYO ELECTRON Revenant Photoresist （TERP），用於將感光材料沈積到矽基板上。TERP的設計具有高度的光刻精度，提供精確的微觀和納米成像能力。光致抗蝕劑隨後暴露於紫外線（UV）下，這有助於激活抗蝕劑並將其變成吸收性薄膜，從而形成復雜的微量和納米級圖案的印記。抗蝕劑隨後暴露於高幹燥溫度下，使抗蝕劑變硬，使其耐蝕刻。該工具還包括各種蝕刻工具和工藝。這些包括高斯和鐘形曲線蝕刻工藝，以及濺射蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）技術。高斯蝕刻工藝涉及在適當的溫度和壓力下應用氣相蝕刻劑。此過程通過受控的除濕過程將暴露的抗蝕劑蝕刻掉。鐘形曲線蝕刻工藝是一種采用濺射蝕刻技術的替代方法，采用較高能量的離子轟擊來蝕刻光致抗蝕劑。濺射蝕刻過程利用真空資產將金屬原子沈積到基板上，RIE過程通過使用侵蝕性的離子源將圖樣蝕刻到基板上來完成蝕刻過程。該模型還包括各種測試和成像組件。其中包括堅固的晶圓檢測和缺陷檢測系統，以及用於微電子器件全成像的先進光學成像技術。這些都是保證產品質量和確保產品達到最高質量標準所必需的。最終，TEL Lithius提供了一個全面的光刻設備，旨在為生產高質量的微電子器件和組件提供精確的微和納米成像。該系統提供可靠可靠的成像解決方案,具有廣泛的蝕刻和測試功能。它是任何希望生產高質量微電子元件和產品的組織的完美解決方案。