二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235261 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是半導體工業中使用的一種先進的光阻設備，用於在基板上創建電路元件。光致抗蝕劑，或對光有反應的光敏化學物質，用於在光刻過程中在基板上創建有圖案的結構。TEL Lithius系統由步進器單元、光刻光源和抗蝕性塗層頭組成。步進器負責控制移動芯片和基板的電動級，以及提供精確的手段來旋轉、移位和聚焦基板。步進器還包括額外的選項，允許在操作過程中基板的多維對齊和芯片的運動。光刻光源為光刻膠的曝光或成像提供光源。它根據光刻膠的特性提供各種圖案燈，還包括一個對齊板，用於測試結構的位置精度。單元的最後一個部件是抗蝕劑塗層頭，負責將抗蝕劑精確塗在基板上。這臺機器提供了傳感器控制的傳輸流速，以確保抗蝕劑在基板上的塗層均勻。該頭能夠塗覆寬達50毫米的面積，分辨率高達0.01 µm。TOKYO ELECTRON Lithius機器被用來在晶片組上建立高解析度的結構，這種結構被用於手機元件、半導體測試板、OLED顯示器等多種應用。光致抗蝕劑工具的工作原理是根據光源的強度有選擇地降低基板上抗蝕劑的暴露程度，從而形成任何形狀或大小的高分辨率結構。Lithius資產提供的先進技術提供了精確的控制和準確性,使用戶能夠最大限度地減少制造結構時的任何錯誤。