二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9244896 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款光刻設備,旨在打造精密控制、極低曝光能量的高品質微制造模式。這一系統的獨特之處在於它能夠為光刻工藝提供100納米以下的分辨率,從而在原型和其他產品的設計中提供更多的細節和準確性。TEL Lithius單元可用於多種光刻應用,如光刻膠曝光、掩模檢查、各種結構的精細處理等。光刻過程從TOKYO ELECTRON Lithius機器將光刻膠暴露在高能光子簇中開始。這些光子使光刻膠與光子反應,使光刻膠中的分子彼此對齊。排列的分子形成一個模式,然後轉移到底物或產物的表面。鋰工具帶有計算機控制的照明資產,有助於產生非常精確的曝光能量,並控制每個鏡頭的曝光時間,這決定了所需模式的細節。Illumination模型還能夠在需要時提供高吞吐量、多模式以及多曝光周期。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius設備也能夠進行先進的檢查技術,這涉及到檢查光刻膠在基板上製作的高解析度線條和圖案。先進的檢查系統可以幫助檢測汙染、碎屑和粘附問題等缺陷。該裝置還能夠在暴露部位提供良好的均勻性。TEL Lithius機器還配備了功能強大的軟件,使用戶能夠快速調整曝光時間和數量等設置,並監控所有其他設置和變量的狀態。此軟件還允許用戶跨多個項目存儲其數據並驗證正在進行的項目的狀態。該軟件還提供了設計定制的曝光站點群集的功能,並可以根據需要集成外部工具和處理器。通過先進技術和定制設置的集成,TOKYO ELECTRON Lithius工具能夠以極高的精度和控制提供優質的光刻膠圖案。該資產非常適合研發項目,也非常適合各行業的原型應用。基於產品的行業中的質量控制部門由於能夠檢測到組件的缺陷和用戶友好的軟件,因此可以從該模型中獲益良多。
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