二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9252496 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是光刻應用中為直接紫外線曝光而設計的光刻設備。該系統利用UV LED源實現高分辨率曝光，以及使可能的曝光時間在微秒範圍內實現高吞吐量處理。該單元還具有用戶友好的觸控面板界面，能夠方便的程序設置和監控光刻參數。光刻機由協同工作的部件組成，以制備用於微加工的基板。它具有UV燈平臺、高分辨率步進工具和對UV敏感的抗蝕劑。此外,資產還使用高速、高分辨率變焦鏡頭來聚焦光源。UV LED燈壽命長，可根據應用變暗。此外，該燈還可進行冷卻保養和更長的UV LED變速器。變焦鏡頭模型提供了有限衍射分辨率,並提供了廣泛的步長和重復配置。它還配備了自動聚焦設備，使光線在整個曝光過程中一直聚焦在基板上。步進系統的精確度對於實現微加工至關重要。可以通過用戶友好的觸控面板界面設置和監視該單元。它提供了一系列曝光配置，從單次拍攝到多次曝光系列。此外，這臺機器還可以超聲波旋轉基板，能夠處理高達360毫米方形的基板。最後，光致抗蝕劑工具采用化學放大正音抗蝕劑。這種抗蝕劑被設計成對紫外線敏感，並提供所需圖案的精確度。化學放大意味著由於二次反應促進其溶解度，它可以承受一系列的暴露能量。然而，這些次要反應也是不必要的削弱的根源，導致不希望的和不可預測的模式。TEL Lithius光抗蝕劑資產結合了精密步進控制、UV LED照明、先進變焦鏡頭模型和化學放大正音抗蝕劑，為實現高分辨率光刻處理提供了高效平臺。