二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9260375 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是設計用於半導體器件制造的光刻設備。該系統采用兩室濕式臺式，一室用於預處理，另一室用於開發商。預處理室可結合酸堿處理以及p型或n型摻雜處理底物。顯影室包含光刻膠溶液，允許使用者以精確的厚度和輪廓將光刻膠層塗抹到基板上。光掩模用於對光刻膠層進行圖樣化，掩模的輪廓和光源的強度決定所施加光刻膠層的厚度和輪廓。該單元包括一個設備控制器，用於監測各種溶液的溫度和流量以及光源、基板和光掩模的參數。這樣可以準確控制過程中的每個步驟,從而實現可重復和精確的結果。此外，機器還包括一個圖形用戶界面（GUI），它允許用戶查看和選擇他們的應用工具參數和配方。此外,該資產允許用戶保存配方和工藝參數以供將來使用。這確保了一個一致的過程，即使需要對特定配方或過程參數進行更改。該模型還具有自動對焦特性，可確保在光刻塗層過程中達到適當的聚焦深度。此功能可防止由於焦點不正確而導致任何曲面圖像失真。TEL Lithius是一款極為精確的光刻設備，允許制造高精度、高質量的半導體器件。系統直觀的用戶界面和可靠的過程參數可實現高度準確和可重復的結果,從而確保高效和可靠的過程。