二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9273942 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9273942
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
System, 12" EFEM Blower module: PM1 and PM2 Air intake Power rack Light curtain Accessory 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一種光致抗蝕劑設備,設計用於將復雜的圖樣復制到復雜的基板上。該系統設計用於半導體制造,生產晶體管、二極管、電阻等半導體器件的零件。該單元由幾個不同的組件組成。最值得註意的是,光致抗蝕劑是一種對光敏感的材料,通常在基材上使用耐蝕刻材料。然後這種材料只對特定波長的光產生反應。在TEL Lithius機器中,半導體激光器被用來發送一個被引導到基板上的光束。這允許精確的模式復制和準確的特征實現。TOKYO ELECTRON Lithius工具被其他各種元件進一步增強。其中一個最重要的成分是圖像對齊器,它確保光束被精確地直接對準基板上的光刻膠。此功能消除了未對齊錯誤,並提高了復制過程中的準確性。此外,耦合器從計算機獲取發送到激光的必要信息。Lithius資產還具有一系列可調節的設置,這些設置旨在提高精度並確保設備的最佳生產。這些設置允許優化激光的功率、掃描速度和焦距,從而實現更高分辨率的圖像。此外,還可根據需要提供各種濾波器和掩蔽技術,以提高準確性。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius模型除了提供各種組件外,還包括一個易於使用的圖形用戶界面,可以在無需操作員的情況下操作設備。GUI允許用戶對必要的功能和命令進行編程,以創建所需的模板並將必要的數據傳輸到激光器。例如,用戶可以對使用的光刻膠類型、激光功率、光束焦距、基板的精確地址等必要功能進行編程。總體而言,TEL Lithius系統設計用於半導體器件和部件的精確生產。該單元提供先進的功能,如激光光束操作和可調節的設置,以確保卓越的性能。此外,易於使用的圖形用戶界面提供了方便和易用性。TOKYO ELECTRON Lithius機器肯定是半導體專業人士必不可少的工具。
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