二手 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274980 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius是一款先進的光刻膠設備，專門設計用於在各種應用中產生極高的分辨率特征和圖樣。該系統由復雜的光路以及最先進的光刻單元和先進的旋轉器設計組成。TEL Lithius單元旨在創建非常高分辨率的功能,這個術語通常被稱為高縱橫比。這是通過同時使用聚焦激光器和寬均勻電子束，以比傳統光刻系統更高的精度和更高的速度渲染圖樣來完成的。TOKYO ELECTRON Lithius machine獨特的構建元素允許用戶在項目的基礎上定制工具，確保最終產品的精度最高。Lithius資產最適合高縱橫比功能,並且能夠產生20納米以下的功能。它也能夠支援其他特徵模式，例如納米柱、納米腔和微機電系統（MEMS）。該模型可靠、穩定，具有重復性和過程控制能力。TEL/TOKYO ELECTRON Lithius設備支持的底物範圍包括矽片、玻璃、聚合物和氧化鋁產品。該系統使用各種最先進的工具,包括高速掃描儀、光學模塊和高級計算工具,迅速曝光基板。該單元包括高速垂直傳輸，以跟上過程周期時間。此外,該機器還具有精確的項目管理工具,允許用戶遠程控制基板處理、程序自動化,並提供各種工具改進和過程控制程序。這種先進的資產利用較低的光掩模尺寸來產生小於等效傳統光刻膠模型的特征。由於設備中有先進的光學元件,掩模尺寸可以減小。TEL Lithius單元作為一種先進的光致抗蝕劑系統，是高長寬比、小尺寸的復雜納米結構的理想選擇。該機器可靠，對基材工藝提供了出色的控制，非常適合從醫學到電子再到汽車工業的廣泛應用。該工具包括各種復雜的功能，使其成為市場上最先進的光刻膠系統之一。